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レーザーで非破壊測定 電極界面評価 福井大が新手法

2018年5月15日 日刊工業新聞

福井大学大学院工学研究科の塩島謙次教授の研究グループは、化合物半導体デバイスの金属電極と半導体界面をレーザー光で非破壊測定する技術を開発しました。パワーエレクトロニクス用半導体デバイスの評価に有効。開発の成果を元に、2018年度から新エネルギー?産業技術総合開発機構(NEDO)が助成する酸化ガリウム半導体デバイスの開発プロジェクトにも参画します。

│ 2018年5月16日 │
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